场发射电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将探针电流从200nA提高到了500nA。

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。