离子研磨仪制备薄膜样品除了需要将样品切成矩形薄片外，不需要溶剂或化学试剂及前处理（打磨或凹坑研磨）。利用离子切片仪除了需要将样品切成矩形薄片外不需要常规的透射电镜制样过程（电解液或前期处理的手工研磨,凹坑机研磨）可直接制备薄膜样品.用於TEM / STEM / SEM / EPMA / AUGER的创新的样品制备方法。

★ 离子研磨仪EM-09100IS采用新开发的快速离子源

即使是柔软的材料,制备的薄膜质量也极好，对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。

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