项目简介：

随着科学技术的发展进步，人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到，显微镜的发明解决了这个问题。目前，纳米科技成为研究热点，集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米，所有这些更加微小的物体光学显微镜是观察不到的，必须使用电子显微镜。电子显微镜可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两大类。

扫描电子显微镜已成为各种科学领域和工业部门广泛应用的有力工具。地学、生物学、医学、冶金、机械加工、材料、半导体制造、陶瓷品的检验等均大量应用扫描电子显微镜作为研究手段。

在材料领域中，扫描电子显微镜技术发挥着极其重要的作用，被广泛应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。扫描电子显微镜是观察分析材料表面微观形貌最直接有效的现代分析仪器，在扫描电子显微镜所观察的微区上，利用与之配合使用的X射线能谱分析仪，便可得到所在区域定性半定量的成分分析。

目的意义：
通过扫描电子显微镜观察样品，获得样品的形态分布与显微结构，并使用与之配合的X射线能谱分析仪，对样品进行定性半定量分析，可以快速确定目标样品中的各种组成成分是什么。表面形貌及成分分析为研究样品形态结构、组成元素提供了便利，还有助于监控产品质量，改善工艺。

应用范围：
航空、汽车、材料、、电子、地学、医学、冶金、机械加工、半导体制造、陶瓷品等。

样品的要求：
非磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性的固态样品。
尺寸要求：小于8CM*8CM*2CM；可能要求切割样品，测试前须告知可否破坏样品。

（1）测试设备：

(2 )环境条件：温度：23±2℃；  湿度：50±5%RH

(3)参考标准：JY/T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则

GB/T 17359-2012微束分析 能谱法定量分析

(4)测试流程：对委托方提供的样品进行表面镀Pt30s，按照标准作业流程放入扫描电子显微镜样品室中，对客户要求的测试位置进行放大观察，并用能谱分析仪进行成分分析。

案例分析

形貌观察
 
  

成分分析
 

表1.样品成分分析测试结果(Wt%)