数据表
MEMS 电容式加速度传感器
特征应用
超小型LCC20 封装(8.9mm x 8.9mm) 惯性传感 用于航空航天IMU / AHRS
±2g，±10g，±30g， ±100g 全部测量范围 航空电子设备
优秀的零位稳定性 无人机
适应恶劣环境（冲击，振动，温度） 陆地及海洋导航
达到MIL-STD-833-E 标准 定向钻井
低功率模拟电压输出地球物理
稳压保护 火车应用
说明
Colibrys 的MS9000 惯性加速度传感器是一种新的超小型产品，适用于
恶劣的使用环境和耐用度要求极高的应用领域。这种换代产品采用了
LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封装，具有从±2g 到±250g 广泛的加速
度测量范围。该传感器可在较大的温度范围应用并且全使用寿命期间零位稳
定保证在几毫g 以内。
Colibrys MS9000 系列是一个电容式MEMS 加速度计，它是由一个立体微
加工工艺制成的硅元件，一个低功耗ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿
值的微控制器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的，校
准的，功能强大和性能稳定的产品。其电子配置中带有一个电源重置以防止
电压不稳的全保护装置。
规格所有数值特指在温度20 °C (+86°F)和5 伏工作电压条件下，除非另外说明
Units MS9002.D MS9010.D MS9030.D MS9050.D MS9100.D MS9250.D
全部测量范围g ± 2g ± 10g ± 30g ± 50g ± 100g ± 250g
封装LCC20 (无磁性, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch)
零位校准mg < 10 < 50 < 150 < 250 < 500 < 1250
大于48 小时的零位稳定性[1] mg typ. < 0.05 < 0.25 < 0.75 < 1.25 < 2.25 < 6.25
1 年时间的零位稳定性[2] mg typ. (max.) 1.5 (<5) 7.5 (<25) 22 (<75) 38 (<125) 75 (<250) 188 (<625)
开/关重复性mg max. < 0.15 < 0.75 < 1.5 < 3.8 < 7.5 < 18.8
零位温度系数[3] mg/°C typ. <0.1 <0.5 <1.5 <2.5 < 5 < 12.5
mg/°C max. ± 0.4 ± 2 ± 6 ± 10 ± 20 ± 50
比例因子(输出灵敏度) (K1) mV/g 1000 ± 8 200 ± 2 66.6 ± 1 40 ± 1 20 ± 1 8 ± 1
一年期比例因子[2] ppm typ. (max.) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000)
比例因子温度系数[3] ppm / °C typ. 100 100 100 100 100 100
min. / max. -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250
输入轴偏心度(Kp, Ko) mrad max. < 10 < 10 < 10 < 10 < 10 < 10
% max 1 1 1 1 1 1
分辨率/ 阈值(@ 1Hz) mg max. < 0.1 < 0.6 < 1.7 < 2.8 < 5.5 < 12.5
非线性度% of FS max. < 0.8 < 0.9 < 0.9 < 0.9 < 1 < 1
g max. < 0.02 < 0.09 < 0.27 < 0.50 < 1 < 2.5
带宽[4] Hz 0 to ≥ 100 0 to ≥ 100 0 to ≥ 100 0 to ≥ 100 0 to ≥ 100 0 to ≥ 100
噪声谱密度V/Hz typ. 18 18 18 18 18 18
[0 ; 9kHz) max. 24 24 24 24 24 24
谐振频率kHz 1.4 3.7 6.3 11 15 26
[1]: 按IEEE 1293-1998 12.3.8 标准：20°C 条件下连续48h 测量，测量前产品一小时稳定准备。
[2]: 一年期稳定性是按IEEE 528-2001 标准: 打开/打开, 放置在-55°C 和85°C 环境中,在-40°C 到125°C 之间循环,在-55°C 和85°C 环境中，不带电经受扰动，震动和冲击。
[3]: 温度系数是定义在–40°C 到20°C 温度范围, 其中温度变化是线性的.
[4]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到3dB 以下.
MS9000.D 30S.MS8X.I.08.07
Colibrys (Switzerland) Ltd
accelero.europe@colibrys.com
Colibrys, Inc.
accelero.us@colibrys.com
www.colibrys.com
Colibrys 保留无需事先通知，修改数据的权利.
工作环境MS9002.D MS9010.D MS9030.D MS9050.D MS9100.D MS9250.D
工作温度范围从-55°C 到+125°C (从-67°F 到255°F)
可靠性符合MIL-HDBK-217 及注解2 中标准，检验结果如需求的话可以提供。
抗冲击性能6’000 g (0.2ms 半正弦区间， 在o, p, i 各个方向冲击)
恢复时间< 1ms (1000g, 半正弦期间1ms, i 方向冲击)
振动20 g rms, 20-2000 Hz (随机噪音，在o, p, i 各个方向30 分钟)
LCC 封装产品是按MIL-STD-833-E 规范封装，密封性达到5·10-8 atm·cm3/s。
静电放电敏感度2 级(根据MIL-STD-883-E 方法3015.7), 人体模型2kV
临近效应 传感器对外界寄生电容较敏感. 为了保证最佳传感器使用性能应避免临近大型金属块(约加速度计尺寸范围)
注： LCC 必须被严格地固定在印制电路板上，装置的底部作为校准轴线的参照平面。
电性能
输入电压(VDD – VSS) 2.5 到5.5 VDC. 标准的校准电压为5.0VDC
输出电压范围在输入电压为5.0 VDC 条件下，为0.5 到4.5 VDC 之间， (在0g 时，为2.5 V ± 5mV)
工作电流消耗在输入电压为5.0 VDC 条件下，为< 400 A
初始和复位电流消耗在输入电压为5.0 VDC 条件下，通常为1400 A (max. 1500 A)（在室温下，时间少于35 毫秒）。
归零重置传感器带有防止电压不稳的保护装置，当电源变化超过0.46 V，斜率为380 伏/秒时，或者如果
电源变化低于2.2V 时，出现归零重置，恢复时间是25 毫秒（最多35 毫秒）。
外部元件的阻抗最小值10 k ，在输出电压Vout (引脚32) 和输出参考电压VAGND（引脚38)之间
最大值50 pF ，在输出电压Vout (引脚32) 和输出参考电压100 F VAGND (引脚38)
物理性能LCC 管壳封装, 20 管脚。
重量< 1.5 克
尺寸标准值14.2 x 14.2 x 3.3 毫米 (0.56 x 0.56 x 0.13 英寸)
最大值14.48 x 14.48 x 3.79 毫米(0.57 x 0.57 x 0.149 英寸)
温度传感器:
20°C 时的输出电压1.632 伏
灵敏度-11.77 毫伏/°C
长期稳定性最大变化值： -0.03°C 到+0.09°C