VS9000数据表
特征 应用
超小型LCC20 封装(8.9mm x 8.9mm) 振动传感 直升机和飞机试验
±2g 到 ±200g 全部测量范围 -航天结构/模态分析
大带宽(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%) -航天飞行和颤振试验
优秀的长期稳定性 -直升机健康与使用监控系统
适应恶劣环境（冲击，振动，温度） 汽车测试和碰撞测试
低功率模拟电压输出 铁路技术
稳压保护 -转向架监测与诊断
配有温度传感器 工业试验
说明
Colibrys VS9000 加速度计是一种新的超小型高端产品，致力于在振动传感
领域的应用。大带宽，高耐用度和低功耗的设计以及优秀的零位稳定性，这
种结合保证了VS9000 MEMS 加速度传感器卓越的可靠性。Colibrys
VS9000 系列是一个电容式MEMS 加速度计，它是由一个体硅微加工工艺制成
的硅表头元件，一个低功耗ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微处
理器以及一个温度传感器等元件组成。
该产品是一个低功耗的，校准的，耐用的和性能稳定的产品。其电子配置中
带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。
这种可变电容传感器可专门用来提供大的带宽。对于± 100g,
（VS9100.D），带宽是从直流到 > 1.0 千赫@ 5％。此产品还得益于
MS9000 系列的高稳定性，低噪音和低偏置和温度系数比例因子。
规格 所有数值特指在温度20 °C (+86°F)和5 伏工作电压条件下，除非另外说明
Units VS9002.D VS9010.D VS9030.D VS9050.D VS9100.D VS9200.D
全部测量范围 g ± 2g ± 10g ± 30g ± 50g ± 100g ± 200g
封装 LCC20 (non magnetic, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch)
带宽, (± 5 %) [3] Hz 0 to > 250 0 to > 1000 0 to > 1000 0 to > 1000 0 to > 1000 0 to > 1000
谐振频率 kHz 1.3 2 4 5.1 7.2 11
噪声谱密度 V/Hz typ. 25 25 25 25 25 25
[0 ; 400 Hz] Max. 27 27 27 27 27 27
零位校准 mg < 10 < 50 < 150 < 250 < 500 < 1000
1 年期的时间零位稳定性[1] mg typ. (max.) 1.5 (<5) 7.5 (<25) 22 (<75) 37.5 (<125) 75 (<250) 150 (<500)
开/关重复性 mg max. < 0.15 < 0.75 < 1.5 < 3.8 < 7.5 < 15.0
零位温度系数 [2] mg/°C typ. <0.1 <0.5 <1.5 <2.5 < 5 < 10.0
mg/°C max. ± 0.4 ± 2 ± 6 ± 10 ± 20 ± 40
比例因子(输出灵敏度) (K1) mV/g 1000 ± 8 200 ± 2 66.6 ± 1 40 ± 1 20 ± 1 10 ± 1
一年期的比例因子稳定性 [1] ppm typ. (max.) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000) 300 (< 1000)
比例因子温度系数 [2] ppm / °C typ. 100 100 100 100 100 100
min. / max. -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250 -50 / 250
输入轴偏心度 (Kp, Ko) mrad max. < 10 < 10 < 10 < 10 < 10 < 10
% max 1 1 1 1 1 1
分辨率/ 阈值 (@ 1Hz) mg max. < 0.1 < 0.6 < 1.7 < 2.8 < 5.5 < 11.0
非线性度 [4] % of FS max. < 0.8 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1
g max. < 0.02 < 0.09 < 0.27 < 0.50 < 1 < 2
[1]: 一年期稳定性是按 IEEE 528-2001 标准：打开/打开, 放置在-55°C 和 85°C 环境中，在 -40°C 到125°C 之间循环，在-55°C 和 85°C 环境中，不带电经受扰动，震动和冲击（在
6000g 单次冲击）。
[2]: 温度系数是定义在 –40°C 到 20°C 温度范围, 其中温度变化是线性的。
[3]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到.5%以下。
[4]: 200g 非线性规格适用的最大量程是100g.
VS9000.D 30S.VS9000.H.04.10
VS9000 side view
0.8 (0.032) 2.43 (0.09)
1.27 (0.05)
3.23 (0.127)
VS9000 side view
i (z)
Sensing
direction
Colibrys
VS9000
Batch / part ID

VS9000 top view
p (y)
o (x)
1
VS9000 bottom view
5.08 (0.2)
8.9 (0.35)
1.27 (0.05)
1
0.64 (0.025)
Colibrys (Switzerland) Ltd
accelero.europe@colibrys.com
Colibrys, Inc.
accelero.us@colibrys.com
www.colibrys.com
Colibrys 保留无需事先通知，修改数据的权利.
工作环境
VS9002.D
VS9010.D
VS9030.D
VS9050.D
VS9100.D
VS9200.D
工作温度范围
从-55°C 到 +125°C (从-67°F 到255°F)
可靠性
符合 MIL-HDBK-217及注解2中标准，检验结果如需要的话可以提供。
抗冲击性能 (即受冲击后产品仍然符合标准)
6’000 g (0.15ms半正弦区间，不重复的单次冲击， 在o, p, 或i各个方向冲击)
恢复时间
< 1ms (1000g, 半正弦期间1ms, i方向冲击)
振动
20 g rms, 20-2000 Hz (随机噪音，在o, p, i各个方向30分钟)
LCC封装
产品是按MIL-STD-833-E 规范封装，密封性达到5·10-8 atm·cm3/s。
静电放电敏感度
2 级 (根据MIL-STD-883-E方法3015.7), 人体模型 2kV
注：
LCC必须被严格地固定在印制电路板上，装置的底部作为校准轴线的参照平面。
电性能
VS9002.D
VS9010.D
VS9030.D
VS9050.D
VS9100.D
VS9200.D
输入电压(VDD – VSS)
2.5 到5.5 VDC. 标准的校准电压为5.0VDC
输出电压范围
在输入电压为5.0 VDC 条件下，为0.5 到4.5 VDC 之间， (在 0g时，为2.5 V ± 5mV)
工作电流消耗
< 400 A，在输入电压为5.0 VDC 条件下。
初始和复位电流消耗
在初始态，输入电压为5.0 VDC 条件下，通常为1500 A（在室温下，时间少于50毫秒）。
归零重置
传感器带有防止电压不稳的保护装置，当电源变化超过0.46 V，斜率为380伏/秒时，或者如果电源变化低于2.2V时，出现归零重置，恢复时间通常是45毫秒（最多50毫秒）。
输出阻抗
最小值10 k ，在输出电压Vout (引脚8) 和输出参考电压VAGND（引脚5)之间
最大值50 pF ，在输出电压Vout (引脚8) 和输出参考电压 100 F VAGND (引脚5)
物理性能
LCC管壳封装, 20 管脚。
重量
< 1.5克
尺寸
标准值:8.9 x 8.9 x 3.23 毫米 (0.35 x 0.35 x 0.127英寸) 最大值: 9.2 x 9.2 x 3.5 毫米 (0.354 x 0.354 x 0.138英寸)
温度传感器
20°C时的输出电压
标准值：1.632 伏
灵敏度
标准值：-11.77 毫伏/°度
长期稳定性
最大变化值：-0.03°度 到 +0.09°C度(在150°C 和1000h小时的条件下)
精度
 5°度 (从 -40°C 到 125°C)
框图和电气 连接
必须在VDD和VAGND之间，以及VAGND和VSS之间使用1μF的退耦电容器, 尽可能地置于靠近加速度传感器处。
建议用