一.SJ6000激光干涉仪性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
二.SJ6000激光干涉仪检测数控机床方法

1.进行线性测量的一般步骤 
　　（1）安装设置激光干涉仪 
　　（2）将激光束与被测量的轴校准 
　　（3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。 
　　（4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。 
　　（5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。 

　　光束快速准直步骤 
　　（1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 
　　（2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动。 

　　垂直光束调整 
　　（3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。 
　　（4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。 

　　水平光束调整 
　　（5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 
　　（6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。 
　　（7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。 
　　（8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 
　　重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。 
　　（9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集ruan件中显示的信号强度。 

三.SJ6000激光干涉仪技术参数

四.SJ6000激光干涉仪日常管理规定
1、 激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人专用，专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。 
2、 激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。 
3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。 
4、 激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。 
5、 中图干涉仪所配用的笔记本为专用笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。 
6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写激光干涉仪使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是不是良好。然后再得到部门领导签字后，方可使用激光干涉仪。对其他部门人员如借用激光干涉仪，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是不是良好。然后再得到部门领导签字后，方可借用激光干涉仪。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。 
7、 负责人要每月对激光干涉仪的器件进行清点，并查看是不是有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。