一.SJ6000激光干涉仪性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
二.SJ6000激光干涉仪用途

1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差
修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。
2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
3.激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
4.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。









三.SJ6000激光干涉仪技术参数

四.SJ6000激光干涉仪使用注意事项

1.仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。