*** 热蒸发镀膜机与手套箱一体化优点:
1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。
2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于钙钛矿太阳能电池/锂电池及OLED薄膜等研究系统。
*** 常规配置:
真空腔室 | L400×W400×H450,前后开门结构,SUS304不锈钢材质 |
真空系统 | 复合分子泵+直联旋片泵,超高真空插板阀,“两低一高”数显复合真空计 |
极限真空 | 优于5.0×10-5Pa(如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组) |
基片台 | 基片台直径≤120mm;基片台加热:室温~300℃;基片台旋转及光控定位 |
蒸发源 | 6组蒸发源(舟式源或挂丝源,兼容有机材蒸发) |
膜厚控制 | 掩膜及膜厚控制系统:定制掩膜机构 采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚 |
手套箱系统 | 手套箱箱体尺寸:大箱体L1800/1200×W750×H900mm 箱体泄露率<0.05vol%/h,标准环境箱体内水、氧指标<1ppm |
控制方式 | 镀膜系统采用手动或PLC触摸屏控制,手套箱系统采用PLC+触摸屏控制 |
报警及保护系统 | 对泵、电极等缺水,过流过压,断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统 |
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