管式真空气氛炉
一、管式真空气氛炉简介管式真空气氛炉、真空管式气氛炉为我公司根据客户需求专业定制的真空气氛热处理设备，主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结及退火等工艺。本设备具有：关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点，是理想的科研及生产设备。 二、管式真空气氛炉技术指标1、外型形式：单管卧式，可根据客户需求定制2、加热器形式：固定式加热器（产品随炉升、降温）3、加热元件：硅钼棒4、工艺管材质：高纯AL2O35、最高工作温度：1600℃ 6、持续工作温度：1500℃7、升温速度：1-15℃/min8、控温精度：±1℃9、炉管尺寸：Φ100*1200mm10、加热区尺寸：600mm11、恒温区长度：300mm12、最大加热功率10KW，保温功率5KW13、反射板：产品与炉口之间有数层反射板，以减少高温对炉口的热辐射。反射板采用高纯AL2O3制作，结构为可方便拆卸结构。14、气路：N2、H2、NH315、极限真空度：1.0*10-1Pa16、最大充气正压：30KPa17、真空计：采用数字式压力传感器18、温控系统：日本岛电32段可编程温控仪19、控制方式：调功调压20、密封系统冷却方式：水冷21、操作方式：手、自动两种操作方式22、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护23、供电电源：AC380V±10%、50Hz24、总功率：10KW、三相五线制北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求专业化定制各种：气氛炉、管式气氛炉、真空气氛炉、热处理气氛炉、气氛保护箱式炉、热处理气氛炉、箱式气氛炉、保护气氛炉、高温气氛炉、气氛保护炉、加热气氛炉等各种真空气氛保护热处理设备，欢迎广大客户来电来函。
