Summit450/600/800 参数介绍:
XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
标准配置
×测量范围:(Summit 450)/ 450X450x150mm
(Summit 625)/615x610x150mm
(Summit 800)/ 760X800x150mm
×尺寸:(Summit 450/625) / 1016X1650X1930mm
(Summit 800)/1422X1884X1930mm
×负载能力:50KG
×分辨率:0.1um (可选 0.04umX-Y)
×光学:(双重放大)(物镜X)
低倍:0.8 1.0 2.5 5.0 10 25
高倍:3.2 4.0 10 20 40 100
×标准物镜:2.5X 可选物镜: 0.8X,1.0X,5X,10X
×照明:LED 背光,LED 同轴面光
×可选特征:多色可编程环形光源, Ronchi 栅格自动聚焦 ,TTL激光,光谱探针, 旋转工作台 ,兆像素数码相机, 高速测量和连续图像获取
特征:
- 测量范围:450 x 450 x 150 mm或 615x610x150mm
- 50公斤承载力
- 亚微米的光栅尺分辨率
- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动,平台速度400 mm/秒
- 误差映射:在XY平面非线性二维纠错
- 双重放大光学系统,固定镜头,内部放大1-4倍
- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明
- 可编程多色(红、蓝、绿、复合白色)环形灯(PRL)选项
- TTL激光选项,具有自动聚焦和扫描功能
- 三角和共焦激光位移传感器选项
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项
- 好的图像处理性能,快速、精和确、稳健
- 双通道,数字式,1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例
- 次像素精度: 1/10 - 1/50 pixel
- 独立的Anthro Cart Operator工作站,90 x 90 x128 cm;40kg
- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台,上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备
- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择
- 平均无故障工作时间 MTBF 8,000 小时
Summit的应用范围包括:
半导体/电子
PCB板与Stencil
光罩
引线框,引线接合,柔性线路板,连接器
SMT元件贴装
锡膏/环氧数脂胶点
芯片载体和托盒
喷墨打印机墨盒
数据存储
磁盘介质基板
滑块和悬臂组(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件
模具和DAO具
医某疗设备
燃料喷射部件
手表组件
summit系统测量范围大,精度高,450/600可以选择伺服马达驱动平台,也可以是线性马达驱动平台。summit800采用高精度滚珠螺杆和伺服马达驱动系统
summit系统适用于对精度要求高的尺寸测量,如锡膏模板和屏幕,工艺品,印刷电路板,电路电线,微蚀刻部件。
Summit 可选TTL 段差补偿激光,方便灵活测量Z轴
Summit 可选光谱探针,提供亚微米Z轴测量分辨率。