TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市,作为全球范围内的科学仪器制造商,TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品,为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
通过参与尖端研究项目,通过和其他电子显微镜以及显微分析的制造商的合作,TESCAN致力于持续不断的改进产品以使其保持在全球微纳技术创新解决方案领域内的竞争力。本着制造卓越品质和高可靠性、高稳定性产品的原则,借助于先进的资源信息处理系统和优化过程管理,我们用顶尖水平的技术装备和最高标准的质量管理系统确保客户对产品质量、价格、交货等多方面的满意。
我们有遍布全球的销售和服务网络,销售团队和训练有素的工程师保证客户在最快的时间内得到产品信息和服务支持。
产品特点:
业界唯一配置有中间镜(IML)设计的扫描电子显微镜
中间镜设计使得史无前例的成像模式出现在用户眼前,如TESCAN久负盛名的超大视野,超大的景深观察,倾斜电子束和实时3维立体图像功能。
专利的大视野光路设计
用户直接用实时的电镜图像进行导航,从而拥有业界最快的找样速度。
加强景深显示模式
专门用于观察高低落差大的样品,如金属断口,失效分析等。
专利的实时电子束追踪系统
用户先确定最重要的参数,由系统主动调整其他参数来适应它,达到实时最优化束流。
3D
beam(三维电子束扫描技术)
通过倾斜电子束的方式(样品台不倾斜),从不同角度扫描样品,用户可以拍摄和实时观察样品的立体图像,特别适合于材料断口和生物样本的观察。
独特的(中间镜+固定光阑)筒镜设计,完美取代老式的移动光阑设计
筒镜参数设置和对中完全由计算机自动完成,从根源上消除了任何由用户手动调整引起的电子束对中误差,同时光阑孔径多级可变,给用户功能强大的“软件光阑”。
所有的探头标配YAG(钇铝石榴石)材料的闪烁体
信噪比高,反应迅速,不会老化,无需更换。
图像最大的存储像素高达8192﹡8192
方便用户仅通过一次扫描即可获得最大面积的高倍图像
技术参数:
分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) (低真空二次电子) | 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) 2.0nm(30kV) 1.5nm(30kV), 3nm(3kV) |
工作真空 高真空 低真空 枪体真空 | <5×10-4Pa 3-500Pa <3×10-7Pa |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 3.5×-1,000,000×连续可调 |
加速电压 | 200V至30kV |
电子枪 | 高亮度肖特基发射源 |
探针电流 | 2pA至200nA |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调 |
聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 | 最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 | 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。 |
自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。 |
远程控制 | TCP/IP |
样品室 |
内部尺寸 | Ф230mm |
门宽 | 148mm |
接口数量 | 11+ |
样品室减振方式 | 气垫减振(可选配内置主动式电磁减振) |
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。 |
样品载台 |
类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | 全马达驱动控制方式: X=80mm--马达驱动 Y=60mm--马达驱动 Z=47mm--马达驱动 旋转:360°连续可调--马达驱动 倾斜:-80°到+80°--马达驱动 |
样品高度 | 最大81mm |
结构图
热发射电子枪 场发射电子枪