氧化锌铝靶材（AZO）   平面

合纵新材自2010年开始研制注浆烧结技术，目前主要用于生产AZO靶材，于2012年研制成功并可以批量生产。

氧化锌铝靶材技术参数

成分

ZnO:Al2O3=98:2wt%或97:3wt%；

纯度

99.95%/99.99%；

实际密度

5.55g/cm3；

相对密度

＞99%；

颜色

墨绿色；

薄膜透光率

＞85%（薄膜厚度200nm）；

靶材电阻率

2.6*10-3Ω.cm。