硅铝合金靶材（SiAl）      平面/旋转

主要应用于镀膜玻璃、光学镀膜等领域。合纵新材拥有国内独一无二的真空熔炼技术，该技术改良了传统的熔炼工艺，彻底解决了熔炼硅铝合金靶材普遍存在的疏松、气孔、铝块等铸造缺陷。与烧结工艺制备的产品相比，合纵新材采用特殊的真空熔炼技术生产的硅铝合金靶材具有纯度高(99.99%)、氧含量低、密度高(>99%)等优点，在溅射过程中不会开裂，甚至在不绑定的情况下也不会开裂。具有性价比高的特点。

硅铝合金旋转靶材技术参数

成分

常规成分：Si90Al10，可按客户要求定制，Si-Al的成分偏差：±2%以内

纯度

99.9%

密度

Si90Al10：相对密度≥92%；

实测密度

≥ 2.2 g/cm3（以3191-9/13为例，硅铝合金涂层重量≥29 kg）

溅射功率

50KW~60 KW

使用功率数

76000 KW•h

靶材直线度

≤ 2 mm / 长度为3191 mm的靶材整根最大跳动量（弯曲）小于2 mm；