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SG-6、SG-8型全自动硅片清洗甩干机

产品说明

系统构成：
设备分6工位和8工位，可清洗103mm、125mm、150 mm、156mm硅片，实现包括清洗、甩干、氮气烘干、工作腔干燥、完成工作自动开门、所有设定和故障显示排除报警均可在显示屏上完成。

结构与特点：
① 主要部件采用优质不锈钢SUS304材料。内部框架采用C型国标槽钢，表面采用高压静电喷涂工艺处理，耐腐蚀，耐锈蚀。外观设计新颖、专利产品、简洁、流畅。人性化设计，操作方便简单。
② 旋转机构经精密的动平衡校验，主框架采用承载式结构，保证系统工作时、平衡、稳定、减少振源的产生，大大降低碎片率。
③ 盖顶采用进口硅胶加热辅助系统，烘干后干燥无滴水。
④ PLC全自动智能控制，根据工艺的不同，参数可调，整个过程智能化。
⑤ 特制SUS316扇形雾状喷嘴和气液流体控制系统，全自动切换控制。
⑥ 采用双向减震系统，大大减低设备震源，使系统具有良好减震效果。
⑦ 采用电加热系统，升温快，易控制，温度稳定。大大降低油加热的漏油，油污等烦扰。
⑧ 驱动系统采用国优知名品牌电机，电机起步加速平稳，制动灵敏度高，制动动作平均时间小于20秒。
⑨ 管道、阀门、接头分别采用SUS304不锈钢、特制铜接头、聚四氟材料管件等

控制系统
①采用PLC智能控制，使所有的操作可靠，程序智能化。
②采用变频器自动调速实现无级变速，使速度变换稳定。
③液晶智能显示工作状态及数据，系统软件具有故障实时显示及报警功能。
④根据工艺的不同，相关软件可随时升级达到生产工艺要求
安全与保障
采取了水、气过程状态监控、氮气加热温度实时监控、紧急停车开关、设备漏电保护等相关措施，系统具备实时检测工作状态。

主要技术参数

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