闭管软着陆扩散系统主要用于光伏太阳能电池片生产过程中的扩散掺杂工艺，也可用于N型电池片扩硼工艺及离子注入后的退火工艺。

■ 闭管软着陆扩散系统特点

◆  闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环 境干扰，工艺质量完全受控。

◆ 自动控制温度过程及工艺过程，全部采用进口优质产品。

◆ 送取片方式：精心设计制造的软着陆装置，全数字化控制，性能更加稳定可靠，其特点平稳可靠、无爬行、Sic浆实现免清洗、定位准确、承重量大、使用寿命长。

◆ 可用于离子注入后的退火工艺。

◆ 我公司亦可提供硼扩散设备。

■ 闭管软着陆扩散系统技术指标

◆ 工作温度：600~1150℃                       

◆ 恒温区长度：1350mm

◆ 温区精度 (静态闭管测试)： 800℃-1150℃：±0.5℃   600℃-800℃ ：±1℃

◆ 单点温度稳定性(静态闭管测试)：800℃-1150℃：±0.5℃/24h    600℃-800℃：  ±1℃/24h

◆ 温度斜变能力：最大可控升温速度：(600～1150℃) 15℃/min;  最大可控降温速度：(1150～600℃)  5℃/min

◆ 气体流量设定精度：±0.5％FS                

◆ 气路系统气密性：1×10-7Pa.m3/s

◆ 自动送料装置行程：  ～2000mm    速度：5～1000mm/min     SiC浆承重：17kg

◆ 装片数量： 530片/管（槽间距：4.76mm）                        

◆ 净化台洁净度：100级（10000级厂房）

◆ 三相五线制：380V±10%，50Hz±10%Hz          

◆ 冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min

◆ 1管、2管、3管、4管、5管分别可选

◆设备性能、工艺性能可与进口设备媲美