普旭RA系列真空泵按照旋片式原理运行。泵体中安装一个偏心转子。利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。叶片将转子和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器。压差使油不断的被压进压缩腔体。油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器和排气过滤器，与排出的气体分离。分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。无油气体经过排气盖板被释放到大气中。

Ｃ、排气过滤器

　　详细内容请参阅后面有关章节说明。

　　D、气镇阀

　　真空泵配有气镇阀，少量空气通过气镇阀进入真空泵腔内，连同工艺气体一起被压缩，这样，可防止真空泵腔内工艺气体中可凝气体成分的凝结。

二．德国普旭R5/RA真空泵润滑油流程

　　1）由于油分离器内和真空腔的压差，将油分离器底部的润滑油分成三路，一路润滑油被压入油过滤器除去杂质颗粒后，经过油冷却器，在冷却器中将润滑油加以冷却之后，喷入真空腔，冷却空气；另二路通到泵体的两端，用来润滑轴承组，多余的润滑油也被吸人真空腔，冷却空气，注入真空腔的油连同被吸入的气体，以油雾形式通过排气阀进入油分离器，油雾在油分离器内通过碰撞，一部分大颗粒的油直接回到油分离器底部，另一部分小颗粒的油通过排气过滤器被分离，分离后的油积聚在浮子阀处，通过浮子阀回到真空泵真空腔。然后润滑油再次进行循环。