型号:SLDr-8070i
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钻孔样品:Dmin=Φ10μm Speed=2000holes/s T=100μm
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行业应用:
1、PCB行业HDI钻孔
2、贴片电感陶瓷钻孔
3、半导体微电子行业TSV工艺微细钻孔
4、发动机喷油嘴钻孔
机器优点:
1、采用皮秒激光器,超短脉冲加工无热传导,适于陶瓷薄膜材料的高速钻孔。
2、采用单激光器双光路分光技术,双激光头加工,效率提升一倍。
3、钻孔速度高达2000holes/s,最小孔径10μm,真圆度95%以上,小孔边缘光滑无毛刺。
4、CCD视觉预扫描&自动抓靶定位、最大加工范围650mm×450mm 、XY平台拼接精度≤±3μm。
5、支持多种视觉定位特征,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等。
6、全自动上下料系统,无人操作。
7、8年激光微细加工系统研发设计技术积淀、性能稳定、无耗材。
皮秒激光微细钻孔原理:
皮秒激光依靠自身极高的峰值功率,以单个脉冲累积或者多个脉冲螺旋运动的方式,短时间内向材料表面传导了巨大的能量,使材料被瞬间熔化和蒸发。激光单脉冲能量越高,被气化的材料就越多。在蒸发过程中,孔眼中的材料体积急剧膨胀,产生了很大的压力,这个蒸气压力将变性的工件材料从孔眼中推出,并且因为激光脉宽为皮秒级,热效应微乎其微,钻孔圆度相对于CO₂激光器更圆滑,边缘更整齐。
技术规格参数
序号 | 项目 | 技术参数 |
光学单元 |
1 | 激光器类型 | 355、1064nm可选 |
2 | 冷却方式 | 恒温水冷 |
3 | 激光功率 | 10~100W |
4 | 光束质量 | M²<1.3 |
5 | 聚焦方式&加工头数 | 平场聚焦镜&双头 |
6 | 最小聚焦光斑直径 | Ф8μm |
激光加工性能 |
7 | 加工速度 | 单头 2000孔/s |
8 | 最小崩边 | 1.5μm |
9 | 最大加工材料厚度 | 0.5mm |
10 | 最大加工尺寸&精度 | 250mm×250mm,±3μm |
机械单元 |
11 | 机床结构 | 龙门式 |
12 | 机床运动轴数&种类 | 最多8轴, X,Y, Z, &θ轴 |
13 | 平台最大行程&速度 | 650mm×450mm |
800mm/s |
14 | 运动平台重复精度 | ≤±1μm |
15 | 运动平台定位精度 | ≤±3μm |
软件控制单元 |
16 | 激光加工&平台控制 | Strongsoft, Strongsmart |
17 | 加工文件导入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
18 | CCD视觉定位软件 | AISYS Vision |
19 | CCD视觉定位精度 | ≤±3μm |
电器单元 |
20 | PLC控制器 | Panasonic |
21 | 真空系统 | 真空泵 |
22 | 除尘&集尘系统 | 专业粉尘过滤集成净化机 |
自动化单元 |
23 | 自动上下料系统 | X\Z轴+可移动上下料平台 |
安装环境 |
24 | 整机供电&稳压器功率 | 220V\380V,5KW |
25 | 压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
26 | 无尘室等级 | 10000 |
27 | 地面承重 | 2T/m² |
28 | 保护氮气 | 高纯氮 |
事业部负责人:
陈先生18617227855
E-mail:cy@stronglaser.com