ANLET安耐特/旋片式真空泵/HV25
罗茨式真空泵
特征:
接液部件干燥清洁排气
高真空、高效、节能
消除由于电源循环引起的性能差异
主要用途:
替代油旋转/螺杆泵。真空炉、真空干燥炉、真空脱脂炉、蒸馏、真空层压、脱气、脱泡。智能手机、LED、锂电池等的各种制造工序
干式罗茨真空泵
水冷式:
配备逆变器,从大气压力启动机械增压,减少排气时间。
主要用途:
真空沉积。真空炉。拉硅炉。
水冷式 / パッケージ式 |
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CT6-36P | CT6-75P | CT6-100P | CT6-200P | CT6-450P |
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大排気速度 (L/min) | 500 | 1000 | 1500 | 2800 | 6000 |
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到達圧力 (Pa) | 1.5 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
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吸込大圧力 (Pa) | 大気圧 |
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吸気口 / 排気口 | NW40 / NW25 | NW40 / NW25 | NW50 / NW25 | VG50 / JIS10K40 | VG80 / JIS10K50 |
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電動機出力 (kW) | 0.75 | 1.5 | 2.2 | 3.7 | 7.5 |
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冷却ファン (W) | - | - | - | - | - |
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冷却水量 (L/min) | 2 | 2 | 4 | 7 | 12 |
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騒音 (dB(A)) | 70 | 73 | 75 | 80 | 85 |
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