罗茨式真空泵
特征：
接液部件干燥清洁排气
高真空、高效、节能
消除由于电源循环引起的性能差异
主要用途：
替代油旋转/螺杆泵。真空炉、真空干燥炉、真空脱脂炉、蒸馏、真空层压、脱气、脱泡。智能手机、LED、锂电池等的各种制造工序
干式罗茨真空泵
水冷式：
配备逆变器，从大气压力启动机械增压，减少排气时间。
主要用途：
真空沉积。真空炉。拉硅炉。

水冷式 / パッケージ式
CT6-36P	CT6-75P	CT6-100P	CT6-200P	CT6-450P
大排気速度 (L/min)	500	1000	1500	2800	6000
到達圧力 (Pa)	1.5	1	1	0.5	0.5
吸込大圧力 (Pa)	大気圧
吸気口 / 排気口	NW40 / NW25	NW40 / NW25	NW50 / NW25	VG50 / JIS10K40	VG80 / JIS10K50
電動機出力 (kW)	0.75	1.5	2.2	3.7	7.5
冷却ファン (W)	-	-	-	-	-
冷却水量 (L/min)	2	2	4	7	12
騒音 (dB(A))	70	73	75	80	85

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