【苏州爱德华STP-iX455涡轮分子泵，PT640Z050】价格_厂家

品牌

EDWARDS爱德华

型号

STP-iX455

作用原理

其他

输送介质

其他

用途

化工泵

驱动方式

电动泵

介质温度类型

常温泵

材质

不锈钢

最大出口压力数值

45MPa

产品编号

PT640Z050

国家

英国

苏州特拉法，代理销售英国EDWARDS爱德华涡轮分子泵。

爱德华STP-iX455涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统，与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆，不需要水冷却。

爱德华STP-iX455涡轮分子泵的氮气抽速为 450 ls-1。爱德华STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

爱德华STP-iX455分子泵应用：
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋加速器
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模

爱德华STP-iX455分子泵功能和优势：
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感轴承系统
自动平衡系统 (ABS) 标准
自动减振 (AVR) 标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI S2
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程

入口法兰	ISO100K
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>1 x 104
极限压力	6.5 x 10-6 Pa
最大工作压力	1.3 x 10-1 Pa
允许的前级压力	67 Pa
额定速度	55000 rpm
启动时间	<6 分钟
固定位置	任何方向
冷却方法	自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却）
润滑油	不需要
前级泵	240 lmin-1
泄露磁通量
轴向方向	<100 m/Gauss
径向方向	<100 m/Gauss
环境温度范围	0 至 40 °C
存储温度范围	-25 至 55 °C
重量	15 kg