苏州特拉法，供应英国EDWARDS STP-iX455涡轮分子泵。

EDWARDS STP-iX455 涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统，与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆，不需要水冷却。

EDWARDS STP-iX455分子泵的氮气抽速为 450 ls-1。EDWARDS STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

EDWARDS STP-iX455分子泵应用：
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋加速器
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模

EDWARDS STP-iX455分子泵功能和优势：
自动减振 (AVR) 标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI S2
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
自动平衡系统 (ABS) 标准

苏州特拉法真空系统

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