苏州特拉法代理销售EDWARDS STP-iXA2206C分子泵。

EDWARDS STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的最新技术）。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

EDWARDS STP-iXA2206C分子泵特性与优势：
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制

EDWARDS STP-iXA2206C分子泵用途：
溅射
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
离子注入源，射束线泵送和站
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

苏州特拉法真空系统

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