苏州特拉法,销售爱德华STP-iXA3306C分子泵。
爱德华STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的最新技术)。
爱德华STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于 STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
爱德华STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
爱德华STP-iXA3306分子泵用途:
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
入口法兰尺寸 |
ISO250F / VG250 / ICF305 |
前级抽气口尺寸 |
KF40 |
抽速 N2 |
2650 ls-1 |
抽速 Ar |
2300 ls-1 |
压缩比 N2/H2 |
>108 / 2 x 103 |
极限压力 |
10-7 Pa (10-9 Torr) |
允许的前级压力 |
266 Pa (2 Torr) |
最大气流 N2 *(仅水冷) |
4000 sccm |
|
(6.76 Pam3s-1) |
最大气流 Ar *(仅水冷) |
2100 sccm |
|
(3.55 Pam3s-1) |
额定速度 |
27700 rpm |
启动时间 |
<10 分钟 |
固定位置 |
任何方向 |
输入电压 |
200-240 V |
最大输入功率(不带 TMS) |
1500 VA |
最大输入功率(带 TMS) |
1800 VA |
重量 |
80 kg |
苏州特拉法真空系统
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