苏州特拉法,代理EDWARDS STP-iXR1606分子泵。
EDWARDS STP-iXR1606 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,机载控制装置中包含最新技术的小型电源供给。其设计理念与 STP-iXA2206/iXA3306 系列相同。 最新开发的革命性转子设计提高了抽取性能, 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
EDWARDS STP-iXR1606分子泵特性与优势:
标配端口包括 I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link
可选配 Profibus 和 DeviceNet
泵和控制器之间不需要连接电缆。
消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。
紧凑型设计使安装更加方便,占地面积更小。
与 STP-A1603 配套时在 8” TMP 同类产品中抽速最高。
使高气体流速领域的功耗降低了 32%。
EDWARDS STP-iXR1606分子泵应用:
太阳能 PVD
工业溅射
玻璃涂层
入口法兰 |
VG150 |
VG200/VG250 |
|
ISO160F |
ISO200F/ISO250F |
|
ICF203 |
ICF253/ICF305 |
后备口 |
KF40 |
KF40 |
抽取速度 |
|
|
N2 |
1000 ls-1 |
1600 ls-1 |
H2 |
800 ls-1 |
1200 ls-1 |
压缩比 |
|
N2 |
>108 |
H2 |
1 x 103 |
极限压力 |
10-7 Pa (10-9 Torr) |
允许的前级压力 |
266 Pa (2 Torr) |
最大气流 N2(仅水冷) |
4700 sccm |
|
(7.94 Pam3s-1) |
最大气流 Ar(仅水冷) |
1800 sccm |
|
(3.04 Pam3s-1) |
额定速度 |
36,500 rpm |
启动时间 |
8 min |
固定位置 |
任何方向 |
输入电压 |
200 至 240 (± 10) V 交流 |
最大输入功率 |
750 VA |
重量 |
48 kg |
苏州特拉法真空系统
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