中文名称：氢氟酸
英文名称：Hydrofluoric acid
分 子 式：HF
相对分子量：20.01
氢氟酸的特点：
无色透明发烟液体。为氟化氢气体的水溶液。呈弱酸性。有刺激性气味。与硅和硅化合物反应生成气态的四氟化硅（能腐蚀玻璃），但对塑料、石蜡、铅、金、铂不起腐蚀作用。能与水和乙醇混溶。相对密度1.298。38.2%的氢氟酸为共沸混合物，共沸点112.2℃。剧毒，有腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。
氢氟酸的作用：
1.集成电路行业用于芯片的清洗和腐蚀。
2.液晶显示器行业中用于对玻璃基板、氮化硅、二氧化硅蚀剂、二氧化硅蚀刻。
3.太阳能光伏行业、半导体行业用于硅表面清洗、蚀剂。
电子级氢氟酸级别标准
项 目 | 指 标 |
EL级 | UP级 | UP-S级 |
氢氟酸 (HF), w/% | 49 + 0.2 | 49 + 0.2 | 49 + 0.2 |
氟硅酸（H2SiF6 ）mg/l ≤ | 100 | 50 | 50 |
氯化物（Cl ）mg/l ≤ | 5 | 5 | 5 |
硝酸盐（NO3 ）mg/l ≤ | 3 | 3 | 3 |
磷酸盐（PO4 ）mg/l ≤ | 1 | 1 | 1 |
亚硫酸盐（SO3 ）mg/l ≤ | 5 | 5 | 5 |
硫酸盐（SO4 ）mg/l ≤ | 5 | 5 | 5 |
锂( Li ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
铍( Be ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
硼（B）ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
钠( Na ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
镁( Mg ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
铝( Al ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
钾( K ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
钙( Ca ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
钛( Ti ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
矾( V ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
铬( Cr ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
锰( Mn ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
铁( Fe ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
钴( Co ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
镍( Ni ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
镓( Ga ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
锗( Ge ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
砷( As ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
锶( Sr ) ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
锆（Zr）ppb ≤ | 100 | 10 | 1 |
