里其乐Rietschle真空泵:VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303
里其乐真空泵油:MULTI-LUBE 100
溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢,而钛升华泵抽氢效果好。
一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵,而大型系统以钛升华泵作主泵,用这种机组可得到10-9Pa的
真空度。
在超高真空系统中,要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤,那么泵只需要250℃烘
烤,真空度到10-5Pa后,缓慢升到250℃,时间为10~20h。
里其乐真空泵滤芯:
731400,731401,731399,730936730937,730516-0000,730514,731142,515310,730506,513457,730507,317957,730504,731148,731143,730513,730533-0000,730516,730507-0000,909503,730542,730517,730080,730502,515310,730506,730508,513457,730519,317895,317957,731468-R,730080-0000
里其乐Rietschle真空泵:VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300
高压缩比的涡轮分子泵,以双级旋片式真空泵为前级,可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级,可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱,获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小,残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制,采用扩散泵作前级,可降低前级管道中的氢分压,进而可提高泵的极限真空度。