高精密直驱平台广泛应用于半导体晶圆检测、微电子组件测试取放、DNA测序、激光加工等领域，定位精度要求高，线性位移100mm行程范围内定位误差要求≤1μm。人类头发直径约70μm，就是要比人类头发直径的70分之1还要小，如此高定位精度的平台测量和校准普通检测设备根本无法做到。