一、产品简介
1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。二、主要技术参数:
炉体结构:
整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构; 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 炉子底部装有一对滑轨,移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启,可以实时观察加热的物料 |
炉管:
高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小 尺寸:Φ60*1200mm 法兰及支撑:
SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合
加热系统: 加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用 加热区长度:300mm 恒温区长度:150mm 工作温度:≤1150℃ 最高温度:1200℃ 升温速率:10℃/min
温控系统: 日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段 测温元件:N型热电偶 恒温精度:±1℃
混气系统:
三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%
真空系统:
采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa 真空机械压力表+电阻真空计显示
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