二手硅晶片少子寿命测试仪(WT-2000PVN)/8层新硅晶片测试仪
1、U-PCD/无接触微波光电导衰减少子寿命扫描;2、LBIC/电池的光诱导电流扫描;3、SHR/无接触方块电阻扫描;4、Eddy Current/涡流法体电阻率扫描(扫描硅片和硅锭的体电阻率)
1、U-PCD/无接触微波光电导衰减少子寿命扫描;
2、LBIC/电池的光诱导电流扫描;
3、SHR/无接触方块电阻扫描;
4、Eddy Current/涡流法体电阻率扫描(扫描硅片和硅锭的体电阻率)
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