真空镀膜设备磁控溅射的使用范围很广, 可制备成靶材的各种材料均可以此方法制备成薄膜材料, 包括各种金属、半导体、铁磁材料、绝缘的氧化物、陶瓷、聚合物等物质。在适当的条件下, 可采用共溅方式沉积所需组分的混合物薄膜; 也可以在溅射的放电气氛中加入氧、氮或其它活性气体, 可反应沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜;它的优点是对靶材的导电性没有要求。反应溅射既可以是直流反应溅射, 也可以是射频反应溅射。共溅射是使用两个由不同材料制备的阴极靶, 同时进行溅射, 通过调节阴极靶上溅射放电电流, 来改变薄膜的成分。还可以在一个主要的靶材的表面, 固定或粘贴其它材料薄片, 实现共溅。
当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。具体方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢即可。
真空多弧离子镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的先进专用设备,运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话,简便,镀出的膜层牢固且细密,是工业化生产的理想设备,其最大特点是它的环保性,真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备,无须环保部门审批。