说
工厂低价转让产线用 8成新 南光品牌 1100MM 真空箱式镀膜机/光学真空镀膜机/磁控溅射镀膜机
机械特点
采用箱式结构,真空系统后置,便于操作和维修;整机表面平整,方便清洁,特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。
设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点。
采用管状加热器上烘烤,烘烤温度均匀,寿命长,可达到******烘烤温度350℃,烘烤均匀性270℃±10℃。
工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可靠。
采用石英晶体膜厚控制仪,可实现镀膜过程的自动控制。
采用先进的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定可靠,可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
适用范围
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜,可加工的材料包括:PP、PC、PVC、ABS、PS、尼龙、金属、波丽、玻璃、陶瓷、TPU等。
镀制效果有:普通电镀亮面、哑面(半哑、全哑)、工艺电镀皱纹、拉丝、雨滴、七彩等;镀制颜色有:金、银、红、蓝、绿、紫、七彩等等。
参数明细:
真空室尺寸:直径*高 1100*1300MM
极限真空度:≤3.0×10-4Pa
抽气系统:扩散泵TK-500×2
罗茨泵:ZJP-300
机械泵 :2X-70
真空测量系统:配三路数字复合真空计,两路低真空,一路高真空
操作方式:手动/自动
工件夹具:Φ1040
工件烘烤系统:上烘烤,铠装管状加热器加热,温度350℃,PID自动控温及显示
蒸发源:电阻蒸发源:电阻蒸发源功率4KW(8V、600A)
电子束蒸发源:E型电子束蒸发源,功率6~10KW
膜厚监控系统:光学膜厚监控,波长范围380-800nm,9o透反射光路,六位电动比较片带显示;石英晶体膜厚监控,美国SQC-310、IC/6
充气系统:自动压强仪2~510-2Pa/质量流量计:单路单显,双路双显
离子辅助(选配):H6霍尔离子源、H10霍尔离子源、Φ12cm考夫曼离子源、Φ16cm考夫曼离子源
深冷捕集器(选配):国产12P、国产15P、进口POLYCOLD550、进口POLYCOLD670
动力需求:冷却水/压力温度:压力:0.25~0.35MPa;温度≤25℃,流量:≥140L/min
压缩空气:压力:0.5~0.7MPa,消耗电力:~50KW
设备外形尺寸(宽×深×高):3870×3600×2670MM
设备重量:3000KG
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