机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

AEROTECH的定位平台范围从经济的滚珠丝杠和齿轮传动的直线和旋转平台到很高性能的直接驱动直线和旋转平台，直线电机为基础的笛卡儿坐标龙门系统，单轴和多轴气浮系统，

FiberMax, FiberAlign和全范围的纳米定位平台。

ANT95-R 和 ANT130-R 直驱旋转平台是 Aerotech 纳米运动技术产品系列的一部分。我们的旋转平台提供前所未有的静态定位稳定性

（0.005 弧秒）和低于 0.01 弧秒的增量运动性能，并提供精度等级