机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位

2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）

3.1纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT95-20A5-04D, ANT95-10A5-04D,

ANT95-20A5-08D, ANT95-10A5-08D,

ANT95-20A5-12D, ANT95-10A5-12D,

ANT95－20A5－04D

系统特点

显著的定位精度，重复定位精度，和定位稳定性需要高系统分辨率。ANT95-L平台的行业领先的1纳米小步距提供了高水平性能。Aerotech的直接驱动技术具有无磁滞或无背隙，高精度和重复定位精度的纳米级运动。