ALS5000WB 直线电机平台

1.宽底座可以承受较大的偏移负载

2.强大的双直线电机驱动

3.坚硬涂层台面和导轨罩

4.完全整合电缆管理系统

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

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ANT-20G

? 非接触、无接头、无摩擦型直驱，适

用于零间隙或零磁滞情形

? 高速（150 度/秒）

? 高分辨率（0.05 弧秒）

? 优异的静态定位稳定性

? 20° 大旋转角度

? 两个摇台采用正交安装方式，可围绕

同一点进行旋转

? 免维护

? 紧凑型设计

ANT95-L系列纳米级精密定位平台

优点：

非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程

1：高分辨率1nm

2：重复定位精度±25nm

3：定位精度 ±250nm

4：行程25-50mm

交叉滚柱轴承专利设计

可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的小步进。