机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

Aerotech的ANT95系列平台是世界上第个行程大于25毫米的纳米级定位系统。ANT95-L和ANT95-L-PLUS交叉滚动轴承直线平台把速度，精度，分辨率，重复定位精度，可靠性和尺寸好的结合在一起，并提供两种精度等级的产品。作为受欢迎的ANT平台的更新系列，这些直线平台显示出超越Aerotech一代ANT系列产品的运动性能。产品的改进如5g的加速度，500mm/s的速度，额定负载能力，标准化以及通用底座安装模式，使用户可以比前系列产品更广泛地配置，更灵活地使用该系列产品。

机械规格

型号ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160

Aerotech 旋转和测角器平台可结合线性平台，形成多轴系统。这可让

任意给定的硬件发挥大的灵活性。

旋转角度20° 20° 20° 20°

精度±18 弧秒±10 弧秒±8 弧秒±6 弧秒