ALS5000WB 直线电机平台

1.宽底座可以承受较大的偏移负载

2.强大的双直线电机驱动

3.坚硬涂层台面和导轨罩

4.完全整合电缆管理系统

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

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直 线 非 接 触 磁 栅 增 量 式 位 置 编 码 器

Pelaxx 是由一只密封的非接触式读头和一条传输线组成的直线非接触磁栅

增量式位置编码器，结构简单，安装方便， 输出为位置脉冲信号A， B 和参考信

号C。Pelaxx 有每2mm4096, 2048, 1024, 512 线不同的分辩率可选。

ANT95-L系列纳米级精密定位平台

优点：

非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程

1：高分辨率1nm

2：重复定位精度±25nm

3：定位精度 ±250nm

4：行程25-50mm

交叉滚柱轴承专利设计

可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的小步进。