机械规格

型号ANT95-360-R ANT95-360-R-PLUS ANT130-360-R ANT130-360-R-PLUS

旋转角度±360° 连续±360° 连续±360° 连续±360° 连续

精度10 弧秒3 弧秒10 弧秒3 弧秒

ANT95-R 和

ANT130-R

? 0.01 弧秒的分辨率

? 0.005 弧秒的静态定位稳定性

? 很小的运动误差

? 多轴配置

? 高动态性能

? 有限或无限旋转

? 95 mm 和 130 mm 的直径

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.2纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT130-2404-A

ANT130-1406-B

ANT130-3103-B

ANT130-6202-C

ANT130-6301-A

ANT130-3831-C

ANT130-7809-C

ANT130-3831-B

ANT130-3832-B

ANT130-1406-C

ANT130-1217-C

ANT130-1406-A

ALS5000 直线电机平台

1.适合恶劣环境

2.坚.台面和导轨罩

3.完全整合电缆管理系统

4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg