Aerotech ANT-95系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超高精度的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。

ant95系列定位平台优点：

?几何性能卓越的气浮导轨

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回馈干涉仪

? 分辨率1nm

? 重复定位精度50nm

?亚微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系统

?无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如 pro系列，ABL系列等等。

非接触直接驱动

ANT95-L系列产品保留了原先ANT系列产品直接驱动的优势。只有非接触直接驱动技术能够为大量精密设备提供稳定的，高速定位的需求。ANT95-L平台使用Aerotech倡导的可获得高水平定位性能的先进的直接驱动技术。

机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。