设计基准
1. Chemical Dispense System System 共计为下列几项：
●供液系统简称：CDS
2. CDS 将设置于化学房内；
●酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房。
3. 设备材质说明(酸碱类):
●酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材，内部管路及组件采PFA 451 HP 材质。
4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式
● 以Pump 方式运送到制程使用点。
5. 过滤器：配有10” PFA材质过滤器外壳。
6. 供液泵：每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵。
7. Empty Sensor & Level Sensor：
●酸碱类采用一般型静电容近接开关。
8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。
二．（CDS）系统设备规格
1. 系统主要功能概述
●设备系列型号：CSE-CDS-N1507
● 设备主要功能：每种化学液体配两个桶（自动切换）、配两台泵（一用一备）、带过滤器；
●系统控制单元：配带OMRON 8”彩色触摸屏，OMRON品牌PLC系统；
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