六氟化硫SF6
1.别名·英文名
Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。
六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定，化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解，在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性，可以用通用材料，不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好，绝缘性能为空气的2～3倍，而且气体压力越大，绝缘性能越增高。药物学性质不活泼，没有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为：5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分压101.325kPa，25℃)。介电常数为：1002049(气体，101.325kPa，25℃)。在21.1℃时S.P.为2308kPa。
5.毒性
最高容许浓度：10ppm(12mg/m3)
六氟化硫在生理学上是不活泼的，在药理学上认为是惰性气体。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。
6.安全防护
用气装置可用肥皂液检漏。SF6无腐蚀性，可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体，可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理，或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。
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纯氩：
纯度：≥99.99%,含氧量：≤10PPM,含氮量：≤50PPM,总碳量：≤10PPM,含水量：≤15PPM;
高纯氩：
纯度：≥99.999%,含氧量：≤1.5PPM,含氮量：≤50PPM,总碳量：≤4PPM,含水量：≤3PPM.
