高     纯     氦

GB／T 4844.3—1995

1  主题内容与适用范围

    分子式：He。

   相对分子质量：4.00260(按1991年国际相对原子质量)。

2 技术要求

高纯氦气产品的质量应符合下表要求。表中的“纯度”、“含量”均为体积分数(V／V)。

项    目                 优等品         一等品     合格品

氦气纯度，10-2        ≥99.9996        99.9993     99.999

氖含最，lO-6          ≤ 1                 2          4

氢含量，10-6          ≤ O.1              0.5         1

氧(氩)含量，10-6      ≤ 0.5                1         1

氮含量，10-6          ≤  1                 1          2

一氧化碳含量，1O-6    ≤ O.1               0.2       0.5

二氧化碳含量，10-6    ≤ 0.2               O.2       0.5

甲烷含量，10-6        ≤ 0.1               0.2       O.5

水分含量，10-6        ≤  1                2          3

产品说明

氩气是无色、无味、单原子的惰性气体，原子量为39．948，密度为 1．78kg／m3（空气密度为 1．29kg／m 3）。氩气的重量是空气的1．4倍，可在熔池上方形成一层稳定的气流层，具有良好的保护性能。氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP，气相色谱仪等仪器的载气，标准气、平衡气、零点气等。

国家标准工业氦气GB/T 4844.1—1995

产品

名称

执行标准

技术标准

纯度

（V/V）≥

氖含量

ppm ≤

氢含量

ppm ≤

氧（氩）含量

ppm ≤

氮含量

ppm ≤

CO+CO 2 +CH 4

ppm ≤

水份含量

ppm ≤

高纯氦

GB/T5829-95

99.999

2

0．5

1

1

0．4

2[1]