苏州鑫昌盛新能源科技有限公司
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制备单晶硅的工艺要求非常苛刻,包括设备、温度控制、转速等各种影响因素。因此在前期必须做好设备设计如单晶炉和温控包括炉内的热场、流场,以及缺陷预测。一般来说,前期的设计、优化 和预测 并不能完全依靠高成本的实验来实现。可以通过专业的计算机数值仿1真工具来实现晶体生长数值模拟,如FEMAG的FEMAG/CZ模块[能能对直拉法(Cz法)进行模拟、FEMAG/FZ模块能对区熔法(FZ法)模拟,还有CGSIM等,以达到对单晶硅制备工艺的预测。
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单晶圆棒是指直拉法(CZ法)生产的单晶硅棒经过滚磨、抛光处理后获得的圆柱形单晶硅棒。直拉法生产出来的单晶硅棒,由于生长过程中旋转和不等径生长导致表面存在凸纹等不规则形状,必须磨圆。
直拉单晶硅棒是圆棒,要切成可以拼排最1大面积的正方形方片,势必损失较多的面积,因为正方形的对角线必须是圆的直径。但是,如果不切成正方形,而是省去四个直角部分,切成带斜边的近似正方形,那么,可以最1大限度地利用圆的面积。斜边部分是小圆弧切成弦导致的,适合于加工和安装。