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单晶圆棒是指直拉法(CZ法)生产的单晶硅棒经过滚磨、抛光处理后获得的圆柱形单晶硅棒。直拉法生产出来的单晶硅棒,由于生长过程中旋转和不等径生长导致表面存在凸纹等不规则形状,必须磨圆。
直拉单晶硅棒是圆棒,要切成可以拼排最1大面积的正方形方片,势必损失较多的面积,因为正方形的对角线必须是圆的直径。但是,如果不切成正方形,而是省去四个直角部分,切成带斜边的近似正方形,那么,可以最1大限度地利用圆的面积。斜边部分是小圆弧切成弦导致的,适合于加工和安装。
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据不完全统计,全球已建、在建和计划建的300mm硅器件生产线约有40余条,主要分布在美国和我国台湾等,仅我国台湾就有20多条生产线,其次是日、韩、新及欧洲。%P世界半导体设备及材料协会(SEMI)的调查显示,2004年和2005年,在所有的硅片生产设备中,投资在300mm生产线上的比例将分别为55%和62%,投资额也分别达到130.3亿美元和184.1亿美元,发展十分迅猛。而在1996年时,这一比重还仅仅是零。