产品用途:
本机适用于硅片、石英晶片、蓝宝石、光学玻璃陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。
主要特点:
1.变频器配合异步电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.采用双电机同步拖动,太阳轮变速范围更广,能适应不同研磨工艺的要求。
3.太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
4.上下研磨盘采用斜齿轮传动,提高了运转平稳性。
5.采用PLC控制,压力采用电—气比例阀闭环反馈控制,压力等级设定更方便精确,操作简单易行,工作可靠稳定。
6.本机应用人机界面(PT)采用人机界面终端(NT)显示与PLC控制,一方面显示运行参数,另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数,主操作由普通键钮完成。
7.造型及内部结构充分考虑了可靠性、实用性、互换性和操作和维修的方便性。
主要技术参数:
1、研磨盘尺寸:1400mm×450mm×50mm
2、游星片参数: 公制M=2 Z=212
英制DP12 Z=200
3、游星片数量:5片
4、“”研磨直径:450mm
5、最小研磨厚度:0.40mm/125mm
6、“”研磨厚度:50mm
7、下研盘转速0-50rpm
8、主电机:11kW AC380V 1450rpm变频调速
9、副电机:1.5kW AC380V 1400rpm
10、 砂泵参数:1/4HP 380V
11、 气源:0.5-0.6MPa
12、 外形尺寸:2200mm×1600mm×2700mm
13、 质量: 约3500Kg
主机精度:
1.下研盘端跳:0.06mm
2.研磨盘平面度:0.025mm
3.太阳轮径向跳动:0.08mm
4.齿圈径向跳动:0.15mm
加工精度(四个修正轮修研后):
1.修正轮修研后平行平面度:0.004mm
2.加工件平面平行度:0.0035/125mm
加工能力:
1.单片承片量:17片/75mm 8片/100mm 5片/125mm
2.整盘承片量:85片/75mm 40片/100mm 25片/125mm