EXF镀层测厚仪原子的特性由原子序来决定，亦即质子的数目或轨道中电子的数目，即如图所示特定的X-射线能量与原子序间的关系。K辐射较L辐射能量高很多，而不同的原子序也会造成不同的能量差。
覆层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。
1ROHS检测仪在仪器检测、仪器校准行业中发挥着重要的作用，对于RoHS 检测仪设备生产厂家或者仪器校准第三方机构来说，了解RoHS 检测仪的保养，如何保养维护好RoHS 检测仪非常重要。以下就是仪器检测技术工人的总结：
一、仪器工作的外部环境
1、周围强磁场干扰
设备合理的工作环境，要求在没有电机、振动、电磁、高压或有高频率电焊器等电磁干扰的地方安装，否则会干扰设备的谱形或造成设备不能正常工作。
2、环境温度，湿度的影响
应保持室温20～25℃为宜，气温过高或过低都会影响设备的正常运作，所以zui好配有空调；空气中相对湿度应保持<70%，湿度过高会造成内部高压单元产生拉弧和放电。
1、表面与外壳的清洁。仪器可用微湿的抹布进行表面清洁，不可用碱性或酸性清洁剂，应使用中性清洁剂。
2、内部与探测器的清洁，在清洁过程中，必须注意不要将异物掉入测试窗口中，测试窗口应该保持清洁，同时不能使用硬物接触测试窗口内，防止损伤探测器窗口和X光管窗口。
3、开合盖子需要注意什么问题仪器上禁止摆放茶杯，重物等与测试无关的物品，以免污染或损伤仪器。
4、国产ROHS仪器的维护及安全使用方法
（a）仪器测试窗口为裸露状态时，必须保证无异物进入测试窗口内。
（b）仪器的测试窗口下方是进口探测器的窗口，和X光管的窗口，其为超薄铍金属制成。为保护其不受伤害，要求如下：
（1）操作时应尽可能保护窗口内无杂质进入，如有异物进入应该小心取出，或用洗耳球吹干净。
（2）样品取放应该轻拿轻放，在放样品前，应该将测试窗口用洗耳球吹净。
5、国产ROHS仪器使用的安全正确操作方法？
（a）本仪器采用X光管产生激发源，因此，在不使用时，仪器会自动将X光管的高压断掉，使X光管的电源处理待机状态。此时，仪器将不会产生任何射线，同时大大延长X光管的寿命。
（b）在放置样品时，只要开启防护罩，仪器也自动将X光管停止，不再产生X射线，完全可以保护使用者的人身安全。
（c）开启、关闭仪器盖子时，应轻开轻放。
（d）设备使用的操作人员，必须要接受安全和操作培训后，才可上机，以确保设备的安全操作与正确使用。
（e）在更换准直器要注意手形，避免去接触探测器。
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