手动减薄撕膜机系列是专门用于晶圆研磨后的撕膜工序,工作盘 具有加热功能;配备精密导轨,进口温控系统,使机器 整体性能稳定,操作方便快捷。
产品特点:
1、适用于 BT315 膜揭膜;
2、 适应 4、5、6、8 英寸的产品;
3、 防静电特氟龙处理的工作盘可有效保护芯片;
4、工作台具有加热功能,能够蓝膜软化,更好的撕膜;
5、滚轮的弹力可调整,适应不同厚度产品;
6、配备横切刀;
7、可选装去静电离子棒。
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