ADE 系列是专门用于晶圆、LED 等切割后的扩膜工序, 配备 PLC 和触摸屏控制系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距。
产品特点:
1、 扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定;
2、 适应 MODTF2 系列框架;
3、工作盘具有恒温加热功能,有助于膜的延伸性;
4、调整工作盘上升的高度,即可调整晶粒之间的间距;
5、 选配圆周刀划膜功能;
6、装有气弹簧,翻盖省力功能;
7、 7 英寸触摸屏,显示参数、执行的步骤、故障报警;
8、采用伺服电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序,保证扩膜 的一致性;
9、 采用松下 PLC 做控制系统,可设定台盘上升的预热延时、扩 膜延时等功能,更好的提升了扩膜质量;
10、翻盖自动锁紧装置。


