系统

DHM型号

T1000

T2100

激光光源数量

1

2

工作波长 (± 1.0 nm)

666 nm

666 nm, 794 nm

激光波长稳定性

0.01 nm/°C at 666 nm

样品台

手动或电动 XYZ 三轴样品台，最大移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm

物镜

放大倍数 1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等

物镜台

6口旋转物镜台

电脑

Dell最新工作站，Intel® 多核处理器，高性能显卡

针对DHM® 优化配置，最小21寸显示器

专用软件

Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和 .NET

附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis Tool，Cell Analysis Tool，Reflectometry Analysis)

数据格式

多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式

图像格式包括.tif格式和.txt矩阵格式

性能

测量模式

单激光波长 666 nm

双激光合成波长 8 μm 4

可用该测量模式的DHM型号

T1000, T2100

T2100

测量精度1 [nm]

1.0 4

1.0 / 5.04 *

纵向分辨率2 [nm]

2.04

2.0 / 10.04 *

测量可重复性3 [nm]

0.024

0.02 / 0.054 *

动态可测纵向范围

最大 500 μm 4

最大 500 μm 4

最大可测台阶高度6

最大 1.0 μm 4

最大 3.5 μm 5

最大 7.0 μm 4

最大 22 μm 5

垂直校准

由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm

图像采集时间

标准 500 μs (最快可选 10 μs)

图像采集速率

标准 30 帧/秒 1024 x 1024 像素 (最快可选 1000 帧/秒)

实时重建速率

标准 25 帧/秒 1024 x 1024 像素 (最快可选 100 帧/秒 )

横向分辨率

由所选物镜决定，最大 300 nm **

视场

由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **

工作距

由所选物镜决定，范围从 0.3 to 18 mm **

数码聚焦范围

最高 50倍于景深 (由所选物镜决定)

样品照明

最低 1 μW/cm2

空间光调制器              波前分析仪              自适应光学系统                数字微反射镜 DMD             光刻仪               光学元件器件DOE 

飞秒激光器                  皮秒激光器              自相关仪                         超短脉冲测量仪Frog             超快激光器件 

光纤激光器                  低噪声窄线宽激光器   可调谐激光器              半导体激光器和放大器          SLD和ASE宽带光源 

超连续谱光源              单色仪                      光谱仪                             光栅                辐射计            防嗮系数分析仪          Qioptiq-Point-source 

激光功率能量计           质量分析仪             位敏探测器                     光电探测器                             光学斩波器        红外观察仪及防护镜    红外相机 

太赫兹光谱仪               太赫兹相机             太赫兹功率计                 太赫兹探测器                          太赫兹元器件 

光纤熔融拉锥机           光纤跳线及配件       无源器件 

普克尔盒                      电光调制器               法拉第隔离器                半导体可饱和吸收镜