晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准25片

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：百级洁净

真空度：5*10-4 Pa

使用温度：200-550度