德国Diener等离子设备，可做 材料表面活化，表面清洗，表面蚀刻，表面涂层。
等离子清洗机ATTO
等离子体技术可应用于不同材料，例如：玻璃、
金属、塑料制品、纺织品和陶瓷制品。
l 小批量生产
l 分析（REM,TEM）
l 医疗技术
l 灭菌
l 研究和开发部门
l 考古
l 纺织技术
l 塑料技术
配置可选：主要技术参数：
1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L
5. 发生器频率13.56MHz,功率0~200W
6. 反射波自动调节，无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动
9. 真空泵的排气能力为8.0m3/Hour，国产飞越真空泵
10. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
11. 外尺寸：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
12. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机FEMTO 2.2L
等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。
l 硅蚀刻
l PTFE蚀刻
l 去除光刻胶
l 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
l 疏水层的沉积
l 亲水层的沉积
l 保护或绝缘层的沉积
l 防扩散层
主要技术参数：
1. 全自动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数
3. 单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制
4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L
5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀
9. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
10. 外尺寸：W310*D420*H330mm
11. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机PICO 5~8L
等离子工艺可应用于任何需要进行精确且高效修改
的材料表面。
l 去除部件封装（半导体）
l 支架（牙医）
l 心脏起搏器
l 传感器
l 精密驱动间
l 车大灯反射镜
l 摄像头
l 医疗器械
配置可选：主要技术参数：
1.半自动控制
2.根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3.双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
4.反应舱为高硼硅玻璃腔体，直径130mm, 长300 mm ，容积约为5L
5.发生器频率40KHz,功率0~200W
6.反射波自动调节
7.电极材质为铝
8.运行模式为手动
9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀，国产飞越真空泵
10*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机NANO 18~34L
小型生产型设备NANO可通过不同配置实现各种
等离子工艺，清洗、活化、蚀刻、涂层。高性价
比的设备可满足各种材料样品的中小型生产。
配置可选：主要技术参数：
12. 手动控制
13. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
14. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
15. 反应舱为高硼硅玻璃材质，Φ 240mm、长 400 mm，容积18L
16. 发生器频率100KHz,功率0~500W
17. 运行模式为手动
18. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour，原装进口干泵，Kashiyama
19. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
20. 外尺寸：宽 560 mm、高 600-860 mm、深 600 mm
21. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机TETRA 30 34L~150L
Tetra 30等离子系统能够以不同的形式进行整合，可以
满足生产企业需求，也能够按照客户要求进行定制。
主要技术参数：
1. *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制
4. *反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×高300 mm ，容积约为50L
5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6. 反射波自动调节，无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动/自动
9. *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程
10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀
11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
12. 电源电压：400V /16A
